Dette utstyret er egnet for forbehandling av wafere før limpåføring. Systemet består av et kammer, vakuumsystem, varmesystem, nitrogenspylingssystem, væskedispenseringssystem og kontrollsystem. Gjennom flere vakuumsykluser og oppvarming med 150ºC varmt nitrogen, tørker og renser utstyret effektivt waferoverflaten, og forhindrer oksidasjon og diffusjon av urenheter. Væskedispenseringssystemet kan også påføre en HDMS-beskyttelsesfilm på waferoverflaten, noe som resulterer i utmerkede limpåføringsegenskaper. Sammenlignet med manuell HMDS-belegg gir dette systemet betydelige fordeler som god repeterbarhet, redusert forbruk av kjemikalie, miljøvennlighet og sikkerhet for menneskers helse. Den kan også brukes til rengjøring av wafere i andre prosesser. Kontrollsystemet bruker en PLS, og menneske-maskin-grensesnittet bruker en berøringsskjerm som tilbyr høy pålitelighet, enkel betjening og intuitiv kontroll.
I produksjonsprosesser for halvledere (brikke/integrert krets) er fotolitografi et avgjørende trinn i mønsteroverføring av integrerte kretser. Kvaliteten på fotoresistbelegget påvirker direkte kvaliteten på fotolitografi, noe som gjør belegningsprosessen spesielt viktig. De fleste fotoresister som brukes i fotolitografi er hydrofobe, mens hydroksylgruppene og gjenværende vannmolekyler på silisiumwaferoverflaten er hydrofile. Dette resulterer i dårlig vedheft mellom fotoresisten og silisiumplaten, spesielt med positive fotoresister. Under utviklingen kan fremkallingsløsningen trenge inn i grensesnittet mellom fotoresisten og silisiumplaten, og lett forårsake fenomener som avskalling og flyting av fotoresisten, noe som fører til svikt i fotolitografisk mønsteroverføring. Samtidig er våtetsing utsatt for lateral etsing. Etter forbehandling med et HMDS-forbehandlingssystem påføres en siloksanbasert forbindelse på underlagets overflate. Waferoverflaten endres fra hydrofil til hydrofob, noe som reduserer kontaktvinkelen, reduserer mengden fotoresist som kreves, og forbedrer adhesjonen til fotoresisten. Dette hemmer lateral etsing og mønsterdrift under utviklingsprosessen, forbedrer fotoresistadhesjonen og forbedrer korrosjonsmotstanden til materialet i tøffe miljøer, og forbedrer dermed produktkvaliteten betydelig og reduserer defektraten.
Prosessmål:
Utstyret fungerer helautomatisk ved hjelp av PLS-styring. Prosessen involverer høytemperatur baking av underlaget for å fjerne overflatefuktighet, kombinert med vakuumtørking og nitrogenbeskyttelsesteknologi for å fjerne fuktighet og forurensninger fra waferoverflaten, forhindre oksidasjon og urenhetsdiffusjon, og sikre renhet før belegg. HMDS (heksametyldisilazan C6H19NSi2) gass blir deretter introdusert. Under høy temperatur reagerer substratoverflaten og HMDS fullstendig, og danner en forbindelse som hovedsakelig består av siloksan. Dette endrer substratoverflaten fra hydrofil til hydrofob, slik at den hydrofobe gruppen binder seg godt til fotoresisten, og fungerer som et koblingsmiddel.
Prosessflyt:
Først slås vakuumpumpen på for å begynne å støvsuge. Når vakuumnivået i kammeret når den innstilte verdien (denne verdien kan stilles inn ved å endre P2-verdien på vakuummåleren, se håndboken for vakuummåleren), introduseres nitrogen. Etter å ha nådd det innstilte vakuumnivået (denne verdien kan stilles inn ved å endre P1-verdien på vakuummåleren), gjentas prosessen med støvsuging og nitrogeninnføring. Etter å ha nådd det angitte antallet nitrogeninnføringer, begynner støvsugingen igjen, etterfulgt av innføringen av den kjemiske løsningen. Etter innstilt tid stopper innføringen av den kjemiske løsningen, og holdefasen begynner. Etter innstilt holdetid begynner støvsuging og nitrogeninnføring igjen, for det angitte antall sykluser. Når systemet automatisk fullfører prosessen, gis en hørbar og visuell alarm som indikerer at skivene er klare for fjerning.
① Ytre skallmateriale: Laget av utvalgt høykvalitets kaldvalset stålplate (Q235), nøyaktig formet av CNC-bearbeiding. Overflaten er behandlet med fosfatering og antistatisk pulverlakk, noe som skaper et robust skall. Den er antistatisk, korrosjonsbestandig og ripebestandig, noe som sikrer varig kvalitet;
② Innerkammer: Det indre kammeret er laget av 304 børstet rustfritt stål, med materialsertifisering (materialrapport tilgjengelig), korrosjonsbestandig og lett å rengjøre;
③ Kontrollpanel: High-end fargeberøringsskjermkontroller, som viser nøkkelparametere som temperatur og tid i sanntid. Intelligent feil- og alarminformasjon gir klar og intuitiv kontroll;
④ Observasjonsvindu: Panorama-observasjonsvindu med stor vinkel, ved hjelp av 8 mm ytre og 20 mm indre dobbeltlags herdet glass, høytemperaturbestandig og svært gjennomsiktig, som tydelig viser hele det indre av kammeret i sanntid, noe som gjør den eksperimentelle statusen klar med et øyeblikk;
⑤ Hyller: Standard forkrommede korrosjonsbestandige nettinghyller, også tilgjengelig i ulike materialer og strukturer for fleksibel tilpasning til ulike eksperimentelle behov;
⑥ Isolasjonslag: Rommet mellom det ytre skallet og arbeidskammeret er fylt med 80 mm tykk høyrent keramisk fiberbomull (Al₂O₃), som gir overlegen varmeisolasjon, reduserer varmetapet kraftig, sikrer konstant temperaturstabilitet og høy energieffektivitet;
⑦ Tetningslist: Utstyrt med en spesialstøpt tetningsring av silikongummi, med en omkrets konveks linjestruktur og en unik aktiv vakuumbrytende tetningsteknologi. Den danner øyeblikkelig en kanal under trykkavlastning, noe som forbedrer vakuumbrytningseffektiviteten betraktelig og sikrer at døren lett kan åpnes etter trykkutløsning;
⑧ Varmerør: Skreddersydd ultralang levetid SUS304 rustfritt stål varmerør, med valgfri hylle/omgivende varmestruktur, nøyaktig tilpasset prosessen, som sikrer jevn og effektiv oppvarming;
⑨ Innløps-/utløpsventiler: Vakuumventiler i hel kobber, enkle og følsomme å betjene, og pålitelig tetning;
① Dette systemet utfører automatisk programmerte sykluser med konstant temperatur, høyt vakuum og inertgassrensing i henhold til forhåndsinnstilte parametere; den kontrollerer nøyaktig tidspunktet for væskeinjeksjon og trykkvedlikehold; og gir lyd- og visuelle signaler etter fullføring av prosessen.
② Fargeberøringsskjerm: Utstyrt med en standard fargeskjerm og berøringskontroll, som viser parametere som innstilt temperatur, driftstemperatur, konstant temperaturtid og feilinformasjon på en enkelt skjerm; dynamisk justering av PID-parametere, med funksjoner som responshastighet og undertrykkelse av temperaturoverskridelse;
③ Bruker en mikrodatamaskin P.I.D temperaturkontroller med overtemperaturavviksbeskyttelse, overhastighetsbeskyttelse og berøringsskjerm, og inkluderer en tidsfunksjon;
④ Flere tidsmoduser: 1. Tidsinnstillingsenheter kan fritt byttes mellom minutter og timer; 2. To timingmoduser: timing fra strøm på og timing etter å ha nådd konstant temperatur;
⑤ Utstyrt med en silisiumvakuumsensor med høy presisjonsmotstand, som er stabil og pålitelig, og oppdager vakuumgraden inne i kammeret i sanntid, og gir nøyaktig datastøtte og garanti for presise prosesser;
⑥ Oppgradert lyd- og lysalarm for miljøskanning av mikrodatamaskinbrikke med stabile databehandlingsmuligheter;
⑦ Funksjoner inkluderer overtemperaturalarm, overtemperaturoppvarmingsavskjæring, tidsbestemt avstenging, oppstartsgjenoppretting, parameterminne, temperaturkorreksjon og selvinnstilling;
⑧ Gjenopprettingsfunksjon for strømbrudd: Hvis den eksterne strømforsyningen plutselig mistes og deretter gjenopprettes, kan utstyret automatisk gjenoppta driften i henhold til det opprinnelige innstilte programmet;
⑨ Selvjustering: Når temperaturkontrollnøyaktigheten er unøyaktig på grunn av endringer i omgivelsestemperaturen, kan selvinnstilling utføres for å gjøre temperaturen mer nøyaktig;
⑩ Flere moduser kan byttes fritt: modus med fast verdi/tidskobling.
| Modell | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| Kontrollsystem | PLC industriell datamaskin | ||
| Menneske-datamaskin interaksjon | 7-tommers kontroller for berøringsskjerm i farger | ||
| Temperatursensor | PT100 Platinum RTD | ||
| Temperaturområde | RT 10–200 ℃ | ||
| Temperaturoppløsning | 0,1 ℃ | ||
| Temperatursvingninger | ≤±0,5℃ | ||
| Tidsrekkevidde | 0–9999 min | ||
| Programgruppe | 100 grupper / 100 segmenter per gruppe | ||
| Datasikkerhet | Nivå 3 adgangskontroll, revisjonsspor | ||
| Intelligent sikkerhet | Selvtest ved oppstart, overtemperaturalarm og varmeavbrudd, korrigering av temperatursensoravvik, skjermlås. | ||
| Tidsretning | Opptelling/nedtelling | ||
| Timing Unit | Minutt/time | ||
| Vakuummåler | Resistiv silisiumvakuummåler | ||
| Ultimativt vakuum | ≤100Pa | ||
| Pumpehastighet | 2L/S | ||
| Strømforsyningsspenning | AC220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| Nominell effekt | 2KW | 3KW | 3,2KW |
| Innvendige dimensjoner | 410x370x345 mm | 450x450x450mm | 500x500x600mm |
| Utvendige dimensjoner | 610x525x1285mm | 660x590x1470 mm | 670x650x1630mm |
| Volum | 52L | 91L | 150L |
| Standard hyller | 2 | 2 | 3 |
| Brutto/Nettovekt | 152/138 kg | 185/165 kg | 235/205KG |
| Nei. | Navn | Parametere | Referansefoto |
| 1 | Rull vakuumpumpe | ① Oljefri pumpe | |
| 2 | Oljetåkefilter | ① Filtrerer oljetåke fra vakuumpumpen |  |
Produkter levert av kjente bedrifter er dypt tillitsfulle av brukerne.
Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd. , er en høyteknologisk bedrift som integrerer FoU, produksjon, salg og service. Vi spesialiserer oss på produksjon av avansert laboratorieutstyr, inkludert ovner, inkubatorer, industrielle ovner og miljøtestkamre.
As og Vi kan skryte av et moderne produksjonsanlegg på 8000 kvadratmeter, et dedikert FoU-team, 23 nasjonale patenter og ISO-9001 sertifisering for kvalitetsstyringssystem. Våre løsninger er mye brukt i banebrytende felt som romfart, halvledere, biomedisin, bilindustri og nye materialer. Vi har etablert dyptgående partnerskap med toppuniversiteter og industriledere, leverer våre produkter eksporteres til mange land og regioner rundt om i verden.
Ved å følge prinsippene om "integritet, innovasjon og vinn-vinn," er vi forpliktet til å bli din pålitelige partner med pålitelig kvalitet og dedikert service.
Vi tar gjerne imot henvendelser og samarbeid fra både nye og eksisterende kunder, og tilbyr profesjonelle utstyrsløsninger.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Tilbake til toppen
